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飛納電鏡操作過(guò)程自動(dòng)化:背散射電子和二次電子混合像

 發(fā)布時(shí)間:2018/9/26 點(diǎn)擊量:1846
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詳細(xì)介紹:

當(dāng)電子束與樣品相互作用時(shí),會(huì)產(chǎn)生背散射電子(BSE)和二次電子(SE)。通過(guò)檢發(fā)射信號(hào)可獲得樣品表面的成分襯度像(背散射電子)和表面形態(tài)像(二次電子)。背散射電子和二次電子是如何形成的,為什么它們攜帶特定的樣品信息?此外,能否在一幅圖像中同時(shí)獲得成分和形態(tài)信息?

 

當(dāng)入射電子束擊中樣品表面時(shí),會(huì)產(chǎn)生二次電子和背散射電子,檢測(cè)并收集這些信號(hào)從而形成圖像。二次電子是由樣品的核外電子的非彈性散射產(chǎn)生的,如圖1左圖所示。二次電子(SE)是低能量電子(通常小于50eV),容易被吸收。這就是為什么只有從極薄的樣品表面中產(chǎn)生的二次電子才能被探測(cè)器收集的原因。

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